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產品描述
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中文名 |
化學式 |
CAS號 |
英文簡稱 |
英文名 |
類別 |
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四氯化鈦 |
TiCl4 |
7550-45-0 |
TiCl4 |
Titanium tetrachloride |
前驅體 |
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四氯化鈦（TiCl4） |
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化學式 |
TiCl4 |
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中文名稱 |
四氯化鈦 |
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英文名稱 |
Titanium tetrachloride |
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CAS No. |
7550-45-0 |
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分子量 |
189.679 |
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應用 |
超大規模集成電路芯片制造中廣泛地用 于沉積高品質的二氧化鈦（TiO2）和氮化鈦（TiN） 薄膜材料和鈦金屬化學氣相薄膜沉積(CVD)的液相源材料。 |
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產品規格 |
7N（99.99999%） |
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